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洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。博泰小编带大家了解洁净实验室建设的标准有哪些:
一、洁净室用途
空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
二、分类
乱流式空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。
特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
(2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
层流式
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
复合式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净棚、装配式洁净室、洁净衣柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
三、洁净室按用途分类
工业洁净室
以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
生物洁净室
主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为;
A、 一般生物洁净室:主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。例:制药工业、医院(手术室、无菌病房)食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。
B、 生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例:细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程(重组基因、疫苗制备)。
高校实验室是开展教学科研,培养高精尖人才的重要场所。为了实验教学和科学研究的正常开展。为满足实验室规范化的建设,以及安全、健康、可持续的发展,推进高校实验室标准化建设至关重要。博泰小编带大家了解高校实验室安全标准化建设要求有哪些。
一、高校实验室建设中的问题
高校实验室具有多学科多专业、环境风险复杂等特点,涉及化学、物理、生物、放射性等多重危害,对实验室的安全管理技术性要求高。同时,高校实验室承当着教学与科研双重任务,实验人员的流动性强,安全素养差异性大,对实验室管理及人员管控要求高。
二、实验室安全培训建设
1.建立实验室安全培训与考核系统
建立实验室安全培训与考核系统,实施实验室安全准入制。设置在线培训、考试考核、门禁管理、日常管理等实验管理环节,对首次进入实验室人员进行安全培训,培训结束后通过实验室安全准入考核,才能获得实验室门禁权,在老师指导下开展实验工作。在线培训主要采用网上学习,包括实验室规安全管理制度、基础实验仪器操作规范、实验室安全事故应急处理、实验室防护用具的正确使用等。
2.建立专业化的培训体系
不同专业实验室培训应有所不同,除需要开设安全防护用具使用、实验操作规程、事故应急处理、消防演练等常规安全知识培训外,还应对不同专业学生和实验人员开展专业安全培训。对实验室设备管理人员要开展相关仪器使用的安全操作培训。
三、实验室安全管理制度建设
1.建立实验室准入制度
加强实验室各类人员的安全培训和考核,实施严格的实验室安全准入制度。学生通过安全培训和实验室准入考核,签订实验室安全承诺书,获得实验室门禁授权后才能进入实验室学习或工作。实验室外来人员也需经过实验室的相关安全培训才能进入实验室。安全准入制度是实验室运行管理制度的第一防线,在实验室的安全管理上更具有主动性,在实验室的前期工作中安全起着强有力地提醒作用。
2.建立实验室安全责任制度
实验室安全责任制实行“谁使用,谁负责;谁主管,谁负责”的原则,从分管校领导、分管院领导、实验室负责人到实验室使用人,都要明确他们的实验室责任。建立实验室安全责任事故等级划分细则,明确各等级责任事故的追究办法。由学校、学院到实验室,执行各层安全职责并签署安全责任书,明确实验室所有参与者应该承担的实验室安全责任和义务,明确实验室各级管理人员的安全责任。
3.建立实验室安全检查制度
建立学校、学院和系室三级安全检查制度。学校在每学期开学前和期末进行全面的实验室安全大检查。学院每个月抽查本学院实验室安全状况,法定节假日和特殊时间进行全面安全检查。实验室需进行更高频率的安全检查,每周或每半个月的定期检查。安全检查内容主要有:安全隐患排查和整改情况;实验室各项规章制度的落实情况;实验室安全管理人员的在岗情况;实验室安全文化建设及安全培训的落实情况;实验室安全应急救援设施的状态检测等。
四、实验室可视化建设要求
1.实验室安全培训信息化
2.实验室安全宣传信息化
3.安全综合管理信息化
构建实验室安全信息化管理系统,包括实验室信息状态管理、实验室使用动态管理,实验仪器设备状态及使用管理、危化品台账及使用安全管理等。通过系统获知各实验室的状态信息和安全事项,以及实现实验室和仪器设备的借用预约。除实验室安全门禁系统外,在关键实验区域安装高清监控和环境检测系统进行实时监控,方便实验室人员实时掌握实验室安全状况。
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